腔室清洗的單臂組合設備初始暫態(tài)調度

摘要： 為了提升腔室潔凈度,晶圓廠需對組合設備腔室進行清洗操作,從而提高晶圓的加工質量.考慮腔室清洗時間和晶圓駐留時間的約束條件下,本文研究了單臂組合設備的初始暫態(tài)調度問題.首先,提出了機械手的初始暫態(tài)活動規(guī)則,并對機械手活動序列進行描述,實現(xiàn)了系統(tǒng)的初始暫態(tài)可調度性;其次,對機械手在初始暫態(tài)和穩(wěn)態(tài)的活動時間進行了建模;然后,根據(jù)系統(tǒng)的時間特性,建立了初始暫態(tài)調度的線性規(guī)劃模型;最后,...