一種等離子體溯源測(cè)量裝置設(shè)計(jì)及性能測(cè)試

摘要： 文章設(shè)計(jì)了一套等離子體溯源測(cè)量裝置為驗(yàn)證感應(yīng)耦合等離子體（ICP）源作為校準(zhǔn)源的性能，找出滿足朗繆爾探針?biāo)菰葱?zhǔn)的最佳等離子體測(cè)試條件，提升測(cè)試準(zhǔn)確性，采用控制變量法對(duì)不同工況下ICP源等離子體電子密度和電子溫度的穩(wěn)定性和均勻性，以及電子密度的重復(fù)性進(jìn)行測(cè)試。結(jié)果表明：在放電開始5～20 min內(nèi)，等離子體電子密度和電子溫度的穩(wěn)定性分別優(yōu)于99.4%和98.9%；在探針伸入真空...