長波紅外差分干涉儀光柵低溫安裝結構設計與優(yōu)化
光學精密工程
頁數(shù): 13 2024-01-25
摘要: 長波紅外差分干涉儀在低溫工況下會因光學元件受到非均勻應力作用產(chǎn)生干涉條紋的畸變,從而降低干涉儀系統(tǒng)性能。本文為解決低溫工況干涉條紋彎曲畸變問題,基于長波紅外差分干涉儀光機系統(tǒng)進行了干涉條紋畸變影響因素分析,結合光-機-熱耦合分析方法,對干涉儀系統(tǒng)低溫工作狀態(tài)進行仿真。隨后設計了針對影響條紋畸變的關鍵元件——光柵元件的低溫微應力動態(tài)穩(wěn)定支撐安裝結構,結構優(yōu)化后的光柵表面面形均方根... (共13頁)