微納陶瓷基鉑銠10-鉑熱電偶技術研究

摘要： 針對燃氣輪機溫度檢測高溫熱電偶存在的熱容大、響應時間慢、無法表貼安裝等諸多技術問題，利用陶瓷微納加工技術制造出50μm厚度的柔性芯片基底，經薄膜工藝形成冗余結構的鉑銠10-鉑熱電偶電極，通過“三明治”封裝形成全陶瓷密封型熱電偶，開展微納陶瓷基高溫熱電偶性能與功能試驗。試驗表明，所設計的微納陶瓷基高溫熱電偶具有快響應特點，能實現在圓滑表面進行柔性表貼安裝，在0～1 000℃溫度范... （共4頁）