粘度與表面張力對硅片切割液穩(wěn)定性能影響的研究

摘要： 通過在以聚乙二醇為基礎(chǔ)液的切割液中添加不同含量及類型的4種非離子黏度調(diào)節(jié)劑和6種非離子表面活性劑考察其對Si C砂在切割液體系中的分散穩(wěn)定性。結(jié)果表明:所選取的非離子黏度調(diào)節(jié)劑及表面活性劑在一定加入量范圍內(nèi),均可提高Si C砂在切割液中的分散穩(wěn)定性,且此兩種方法均可用于提高成本相對較低的二甘醇新液體系懸浮穩(wěn)定性。 （共5頁）