分子蒸餾結合電噴霧質譜技術研究硅片切割液

摘要： 采用分子蒸餾技術對010型切割液進行分離,對分子蒸餾溫度進行優(yōu)化。當溫度為80℃,刮板轉速為300r/min,加料速率2mL/min,系統(tǒng)絕壓20Pa時,分子蒸餾分離效果最佳。采用電噴霧質譜直接進樣技術分析切割液各餾分,在正離子模式下,各組分可形成質子化分子或[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+等加合離子。以甲醇(1.0×10-3mol/L)-乙酸銨(90∶10 v/v)(流動相Ⅰ)為流動相時,[M+H]+、[M+NH4]+、[M+Na]+和[M+K]+4種PEG加合離子相對豐度均增加,[M+NH4]+峰增加尤為明顯。對80℃分子蒸餾輕、重組分和PEG200進行電噴霧質譜表征時,以甲醇-水(90∶10 v/v)(流動相Ⅱ)為流動相,而對PEG400表征時則采用流動相Ⅰ。實驗發(fā)現(xiàn),采用流動相Ⅱ時輕組分與PEG200質譜分析結果類似,此時的重組分質譜結果與采用流動相Ⅰ時的PEG400類似?？赏茢?010#切割液主要成分為PEG200和PEG400,并含少量不揮發(fā)銨鹽。 （共4頁）