氣相色譜內(nèi)標法測定硅片切割液中一縮二乙二醇含量

摘要： 采用氣相色譜內(nèi)標法,GC950型氣相色譜儀汽化和檢測溫度均設為260℃,柱前壓設為0.03MPa,柱溫程序設為:150℃保留2min,以25℃/min速率升到260℃,保留10min。結果表明,1,2-丙二醇與一縮二乙二醇(DEG)的保留時間(色譜峰位置)最接近且兩者分離良好,可作為定量分析切割液中DEG的內(nèi)標物。5次平行測定得到1,2-丙二醇與DEG的相對校正因子平均值為1.114,不同加標濃度水平下DEG的平均回收率為98%～99%,RSD為2.8%～6.0%。測得某切割液中DEG質(zhì)量分數(shù)平均值為73.7%,日內(nèi)與日間標準偏差分別為1.1和2.2,日內(nèi)與日間RSD分別1.4%和3.0%。該方法準確可靠、精密度高且重現(xiàn)性好,操作誤差在允許范圍之內(nèi)。 （共3頁）