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 利用高頻電磁波使工作氣體電離擊穿而產(chǎn)生的等離子體。應(yīng)用于產(chǎn)生微波等離子體的頻率一般是0.915吉赫和2.45吉赫,其中2.45吉赫微波使用更為普遍。 (本文共 1201 字 ) [閱讀本文] >>