引信微光機電系統(tǒng)安全系統(tǒng)研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢

摘要： 隨著引信微小型化和智能化不斷發(fā)展，電磁兼容性要求不斷提升，對其安全系統(tǒng)提出了更高的要求?；谖⒐鈾C電系統(tǒng)(MOEMS)技術的器件具有體積小、重量輕、能耗低、集成度高和可批量生產(chǎn)等特點，在引信安全系統(tǒng)中有較好的應用前景。對引信MOEMS安全系統(tǒng)的國內外研究現(xiàn)狀開展分析，介紹了引信MOEMS安全系統(tǒng)的基本原理，分析了MOEMS安全系統(tǒng)驅動方式、加工與封裝工藝、激光起爆技術與安全系統(tǒng)...