基于LTCC的3D異質(zhì)集成低通濾波器

摘要： 在射頻應(yīng)用中，低溫共燒陶瓷(LTCC)技術(shù)是關(guān)鍵技術(shù)路線之一，然而使用單一介質(zhì)的LTCC技術(shù)的性能很局限。為此，文中對(duì)基于LTCC的3D異質(zhì)集成技術(shù)進(jìn)行研究，通過(guò)調(diào)節(jié)流延配方、燒結(jié)速度、燒結(jié)溫度、保溫時(shí)間等工藝參數(shù)，設(shè)計(jì)異質(zhì)匹配共燒的燒結(jié)行為控制、界面相容性和組織性能調(diào)控方案，開(kāi)發(fā)出穩(wěn)定可靠的LTCC集成工藝，給出基于LTCC異質(zhì)集成的器件仿真設(shè)計(jì)、3D集成制備方法，并制作了一...