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基于微結(jié)構(gòu)的金屬薄膜柔性應(yīng)變傳感器

微納電子技術(shù) 頁數(shù)： 9 2022-08-26
摘要： 柔性應(yīng)變傳感器通常難以兼具高靈敏度和寬傳感范圍的性能。利用光刻工藝制備出微結(jié)構(gòu)模板，將模板的微結(jié)構(gòu)復(fù)制到聚二甲基硅氧烷(PDMS)表面，然后在PDMS表面沉積金屬膜層得到具有微結(jié)構(gòu)的金屬薄膜柔性應(yīng)變傳感器。結(jié)果表明，金屬薄膜表面的微結(jié)構(gòu)有效阻礙了微裂縫的延伸，該傳感器具有較大的傳感范圍(拉伸應(yīng)變極限為25%),并保留了金屬薄膜傳感器的高靈敏度(應(yīng)變系數(shù)為154)。此外，該傳感器...

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