ITO導(dǎo)電膜玻璃

簡介

        氧化銦錫(Indium-Tin Oxide)透明導(dǎo)電膜玻璃，多通過ITO導(dǎo)電膜玻璃生產(chǎn)線，在高度凈化的廠房環(huán)境中，利用平面磁控技術(shù)，在超薄玻璃上濺射氧化銦錫導(dǎo)電薄膜鍍層并經(jīng)高溫退火處理得到的高技術(shù)產(chǎn)品。

　　產(chǎn)品廣泛地用于液晶顯示器(LCD)、太陽能電池、微電子ITO導(dǎo)電膜玻璃、光電子和各種光學(xué)領(lǐng)域。

　　ITO導(dǎo)電膜的主要參數(shù)有：表面電阻、表面電阻的均勻性、透光率、熱穩(wěn)定性、加熱收縮率、加熱卷曲等。其中光透過率主要與ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面電阻有關(guān)。在基底材料相同的情況下，ITO膜的表面電阻越小，ITO膜層的厚度越大，光透過率相應(yīng)的會有一定程度的減小。

ITO導(dǎo)電層的特性

        ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導(dǎo)電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì)，俗稱“霉變”，因此在存放時要防潮。

　　ITO層在活性正價離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng)，形成其它導(dǎo)電和透過率不佳的反應(yīng)物質(zhì)，所以在加工過程中，盡量避免長時間放在活性正價離子溶液中。ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。

ITO導(dǎo)電玻璃的分類

    　ITO導(dǎo)電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150~500歐姆）、普通玻璃（電阻在60~150歐姆）、低電阻玻璃（電阻小于60歐姆）。高電阻玻璃一般用于靜電防護、觸控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。

　　ITO導(dǎo)電玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規(guī)格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。

　　ITO導(dǎo)電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。

影響ITO玻璃性能的主要參數(shù)

　　長度、寬度、厚度及允差（±0.20）

　　垂直度（≤0.10%）

　　翹曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%）

　　微觀波紋度

　　倒邊C倒邊（0.05mm≤寬度≤0.40mm）R倒邊（0.20mm≤寬度≤1.00mm，曲率半徑≤50mm）倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm）SIO2阻擋層厚度（350埃±50埃，550nm透過率 ≥90%）ITO層光學(xué)、電學(xué)、蝕刻性能（蝕刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）
 

化學(xué)穩(wěn)定性

　    耐堿為浸入600C、濃度為10%氫氧化鈉溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐酸為浸入250C、濃度為6%鹽酸溶液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。耐溶劑為在250C、丙酮、無水乙醇或100份去離子水加3分EC101配制成的清洗液中5分鐘后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。附著力：在膠帶貼附在膜層表面并迅速撕下，膜層無損傷；或連撕三次后，ITO層方塊電阻變化值不超過10%。熱穩(wěn)定性：在 3000C的空氣中，加熱30分鐘后，ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%。

測試方法及判定標準

        測試方法及判定標準尺寸：

　　A、測試方法：用直尺和游標卡尺測量待測玻璃原片的長度、寬度、厚度。

　　B、判定標準：測量結(jié)果在供貨商所提供的參數(shù)范圍之內(nèi)為合格。

　　面電阻:

　　A、測試方法：把待測試玻璃整個區(qū)域做為測試區(qū)域，然后測試區(qū)域分成九等份后再用四探針測試儀分別測試各區(qū)域的面電阻。

　　B、判定標準：根據(jù)測試結(jié)果計算出電阻平均值及電阻資料分散值，結(jié)果在要求范圍內(nèi)既是合格。

　　ITO層溫度性能

　　A、測試方法：把待測玻璃原片在3000C的空氣中，加熱30分鐘，測試其加溫前后的同一點面電阻阻值。B、判定標準：ITO導(dǎo)電膜方塊電阻值應(yīng)不大于原方塊電阻的300%為合格。

　　蝕刻性能：

　　A、測試方法：把待測玻璃原片放入生產(chǎn)線所用的蝕刻液中測試其蝕刻完全的時間。

　　B、判定標準：蝕刻完全的時間值小于生產(chǎn)工藝所設(shè)定時間的一半值為合格。