簡(jiǎn)述
由若干種敏感元件組成的多功能傳感器是一種體積小巧而多種功能兼?zhèn)涞男乱淮綔y(cè)系統(tǒng)它可以借助于敏感元件中不同的物理結(jié)構(gòu)或化學(xué)物質(zhì)及其各不相同的表征方式用單獨(dú)一個(gè)傳感器系統(tǒng)來(lái)同時(shí)實(shí)現(xiàn)多種傳感器的功能隨著傳感器技術(shù)和微機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展在20世紀(jì)末就已經(jīng)可以生產(chǎn)出來(lái)將若干種敏感元件綜裝在同一種材料或單獨(dú)一塊芯片上的一體化多功能傳感器
主要結(jié)構(gòu)
主要的執(zhí)行規(guī)則和結(jié)構(gòu)模式
(1) 多功能傳感器系統(tǒng)由若干種各不相同的敏感元件組成可以用來(lái)同時(shí)測(cè)量多種參數(shù)譬如可以將一個(gè)溫度探測(cè)器和一個(gè)濕度探測(cè)器配置在一起制造成一種新的傳感器這種新的傳感器就能夠同時(shí)測(cè)量溫度和濕度
(2) 將若干種不同的敏感元件精巧地制作在單獨(dú)的一塊硅片中從而構(gòu)成一種高度綜合化和小型化的多功能傳感器由于這些敏感元件是被綜裝在同一塊硅片中的它們無(wú)論何時(shí)都工作在同一種條件下所以很容易對(duì)系統(tǒng)誤差進(jìn)行補(bǔ)償和校正
(3) 借助于同一個(gè)傳感器的不同效應(yīng)可以獲得不同的信息以線圈為例它所表現(xiàn)出來(lái)的電容和電感是各不相同的
(4) 在不同的激勵(lì)條件下同一個(gè)敏感元件將表現(xiàn)出來(lái)不同的特征而在電壓電流或溫度等激勵(lì)條件均不相同的情況下由若干種敏感元件組成的一個(gè)多功能傳感器的特征可想而知將會(huì)是多么的千差萬(wàn)別有時(shí)候簡(jiǎn)直就相當(dāng)于是若干個(gè)不同的傳感器一樣其多功能特征可謂名副其實(shí)
主要應(yīng)用
多功能傳感器無(wú)疑是當(dāng)前傳感器技術(shù)發(fā)展中一個(gè)全新的研究方向日前有許多學(xué)者正在積極從事于該領(lǐng)域的研究工作如將某些類型的傳感器進(jìn)行適當(dāng)組合而使之成為新的傳感器如用來(lái)測(cè)量流體壓力和互異壓力的組合傳感器又如為了能夠以較高的靈敏度和較小的粒度同時(shí)探測(cè)多種信號(hào)微型數(shù)字式三端口傳感器可以同時(shí)采用熱敏元件光敏元件和磁敏元件這種組配方式的傳感器不但能夠輸出模擬信號(hào)而且還能夠輸出頻率信號(hào)和數(shù)字信號(hào)
各種類型的仿生傳感器是較熱門的研究領(lǐng)域而且在感觸刺激以及視聽(tīng)辨別等方面已有最新研究成果問(wèn)世從實(shí)用的角度考慮多功能傳感器中應(yīng)用較多的是各種類型的多功能觸覺(jué)傳感器譬如人造皮膚觸覺(jué)傳感器就是其中之一這種傳感器系統(tǒng)由PVDF材料無(wú)觸點(diǎn)皮膚敏感系統(tǒng)以及具有壓力敏感傳導(dǎo)功能的橡膠觸覺(jué)傳感器等組成據(jù)悉美國(guó)MERRITT公司研制開(kāi)發(fā)的無(wú)觸點(diǎn)皮膚敏感系統(tǒng)獲得了較大的成功其無(wú)觸點(diǎn)超聲波傳感器紅外輻射引導(dǎo)傳感器薄膜式電容傳感器以及溫度氣體傳感器等在美國(guó)本土應(yīng)用甚廣。
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