.jpg)
 對于外延晶體硅薄膜太陽能電池,最廣泛研究的沉積技術(shù)是熱輔助化學氣相沉積(ThermallyAssistedChemicalVaporDeposition,TA-CVD),其原理是Si前驅(qū)物和摻雜氣體(dopinggas或dopantgas)在加熱的Si表面上發(fā)生熱輔助的非均勻分解。自從20世紀70年代,TA-CV (共 1338 字) [閱讀本文] >>
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 對于外延晶體硅薄膜太陽能電池,最廣泛研究的沉積技術(shù)是熱輔助化學氣相沉積(ThermallyAssistedChemicalVaporDeposition,TA-CVD),其原理是Si前驅(qū)物和摻雜氣體(dopinggas或dopantgas)在加熱的Si表面上發(fā)生熱輔助的非均勻分解。自從20世紀70年代,TA-CV (共 1338 字) [閱讀本文] >>